Ispezione della resistenza, Wafer counter, Analysator für Lebenszeit

晶片尺寸
方片	103mm×103mm, 125mm×125mm, 156mm×156mm
圆片	3", 4", 5", 6"
测试功能
厚度	150.0μm ∼ 600.0μm(可调)
绝对偏差	≤±1.0 μm
重复性	1δ≤0.25 μm
体电阻率	0.100Ω-cm ~ 30.00Ω-cm
绝对偏差	≤±3%
重复性	1δ≤0.25 μm
电阻率超范围显示	<0.100Ω-cm; >30.00 Ω-cm
温度范围	18 to 28 ℃
湿度范围	40% to 95%
仪器尺寸/重量	470mm(L) x 460mm(W) x 480mm(H)/20Kg (测试台)，540mm(L) x 540mm(W) x 460mm(H)/20Kg (机柜)
电源要求	220 VAC, 50 Hz
控制器	SynControllerTM
操作系统	MicroSoft WinXP及以上

1. 其他范围要求可与工厂根据实际情况作协商和调整
2. 对象 @ 25°C ±1°C
3. 符合 GB/T 6618-1995,GB/T6616-1995 和 ASTM F637 国际标准
4. TTV指标为出厂检验指标，供参考，不作为设备验收指标

MS203星纳多功能晶片检测系统可同时测量硅片厚度、TTV、体电阻率和P/N型（选配），目前市场销售达到400多台。