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  SYNworld Instruments(Shanghai) Co., Ltd.
  Address: Floor 2, Building 4, No. 3609, Hongmei Road South, Minhang, Shanghai. China
  Website: www.synworld.com.cn
Phone:
+86 21 33506998　
Fax:
 +86 21 33506828
E-mail:
 salessynworld.com.cn
  Number of Staff --
  Equipment Types
Resistivity inspector, Wafer counter, Wafer vision inspector
  Parent Company --
  Additional info  
  (Advertising)		 Located in Shanghai, Synworld Instruments specializes in designing and manufacturing precision measuring equipment, and also provides automation solutions for semiconductor and solar industry.
  Products
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晶片尺寸
方片 103mm×103mm, 125mm×125mm, 156mm×156mm
圆片 3", 4", 5", 6"
测试功能
厚度 150.0μm ∼ 600.0μm(可调)
绝对偏差 ≤±1.0 μm
重复性 1δ≤0.25 μm
体电阻率 0.100Ω-cm ~ 30.00Ω-cm
绝对偏差 ≤±3%
重复性 1δ≤0.25 μm
电阻率超范围显示 <0.100Ω-cm; >30.00 Ω-cm
温度范围 18 to 28 ℃
湿度范围 40% to 95%
仪器尺寸/重量 470mm(L) x 460mm(W) x 480mm(H)/20Kg (测试台)，540mm(L) x 540mm(W) x 460mm(H)/20Kg (机柜)
电源要求 220 VAC, 50 Hz
控制器 SynControllerTM
操作系统 MicroSoft WinXP及以上

系统注释
  1. 其他范围要求可与工厂根据实际情况作协商和调整
  2. 对象 @ 25°C ±1°C
  3. 符合 GB/T 6618-1995,GB/T6616-1995 和 ASTM F637 国际标准
  4. TTV指标为出厂检验指标，供参考，不作为设备验收指标


MS203星纳多功能晶片检测系统可同时测量硅片厚度、TTV、体电阻率和P/N型（选配），目前市场销售达到400多台。
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  Last Update 30-09-2011  
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